半导体参数测试仪QST2300

概述:QST2300 是一款支持高压全范围半导体器件参数精密测试仪器，可进行高压电流电压测试(IV)、高压电容电压测试(CV)、大功率大电流脉冲测试(Pulsed IV)等。它能够对宽禁带半导体材料和器件(SiC、GaN、Ga2O3等)参数进行快速高精度测试和性能表征。

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产品简介
技术参数
产品规格

精测芯能量 · 智控芯标准

⚡

高压测试 3000 V

💪

脉冲电流 2000 A

🎯

精度 0.01 fA

QST2300 组成

QST2300 嵌入式精密测试系统

QST2300采用嵌入式屏幕组件，系统搭建简便快捷，能够提供高电压范围高性能半导体参数精密测试，配合多点触摸操作图形软件，快速测试提取器件性能参数，助力新型半导体材料、器件和工艺开发。

⏺️ 系统示意图

测量参数

QST2300采用器件模型测试框架，支持扩展和自定义器件模型、测试用例模型等，测试参数和测试器件不限于下表。

MOSFET
IdVg, IdVd, IgVg, Vth, Vdiode, Rdson, Vbr, C, QSCV, LFCV等

三极管
IcVc, Vcsat, Gummel plot, C, fβ, fα, ft等

功率器件
Pulsed IdVg, Pulsed IdVd, Vbr, Il, CV, Ciss, Coss, Crss, Rg等

非易失性存储器
Vth, C等

纳米器件
R, IdVg, IdVd, IcVc等

材料
ρ, Rh, Vbr, Il等

光伏器件
If, Ir, Vbr等

AccurateTest 软件

QST2300包括AccurateTest 软件，可以执行各种类型的IV、CV 和Pulsed I-V 表征测试。其用户界面提供了多点触摸控制功能，能够进行全生命流程的器件管理，支持预置测试模型和自定义测试模型，为宽禁带半导体材料、器件表征提供了快速、灵活的参数测试和分析功能。

🖥️ 软件界面

🖐️
多点触摸
10点触控，流畅交互

📋
全生命周期管理
器件追溯，一键录入

📦
预置测试模型
MOSFET、功率器件等

⚙️
自定义模型
扩展灵活，用例开放

⚡
快速参数提取
Vth, Rdson, C 等

选配附件

QST2300-A-01-*支持1000V低泄漏信号传输，超低噪声1000V SMU 三同轴电缆：1m、2m、3m

QST2300-A-02-*IV/CV切换盒附带

QST2300-A-03-*Interlock线缆

QST2300-A-04-*BNC 到 BNC 电缆，1m、2m、3m

QST2300-A-05-*超低噪声 3000V SMU 三同轴电缆：1m、2m、3m

QST2301-A-3T1LO极三同轴引出模块

QST2301-A-4T1LO极三同轴引出模块

QST2311-QST2301-A-2T1三同轴引出模块

QST2308-A-TO3P/247-4L(3.81)夹具模块

QST2308-A-SOT-23/SOT-89夹具模块

QST2308-A-TO/DO2夹具模块

QST2300-A-CASEQST2300带拉杆铝合金便携包装箱

基本技术指标

主机显示器15.6" LCD, 1920×1080, 10点容性触摸

外部显示器HDMI/DP, 支持1920×1080

温度范围工作：+10~+40℃；贮存：-15~+60℃

湿度范围工作：5%~80% RH；贮存：5%~90% RH，无冷凝

高度工作：0~2000m；贮存：0~4000m

功率要求100-240V, 50/60Hz, 500W

安规标准CCC

外观尺寸42.5×22.3×46 cm (宽高深)

重量(近似)四个SMU配置 32.8 kg

I/O 端口USB, HDMI, 打印机, RS-232, 以太网, 鼠标, 键盘

负载电容没有限制

最大电流双三同轴连接时 3A

输出端接口双三同轴

电缆电阻FORCE ≤1Ω, SENSE ≤10Ω
订货信息
🖥️ 主机
QST2300A/QST2300
英特尔®酷睿™ i5
15.6" 10点触摸
15个PXIe插槽(5槽位可选)
11×USB(1×Type-C)
2×2.5G以太网
2×RS232/422
内置高压SMU(0/1000V/3000V可选)
附件：1.5m 电源线

🔋 HPSMU
QST2310
2000W脉冲功率(±40V，±50A)
200W直流(±10V@20A等)
1pA分辨率
最小脉宽100μs
占空比1%~100%
-

⚡ HVSMU
QST2320-3000
±3000V/10mA
0.03%基本精度
10fA电流分辨率
2μV电压分辨率
四象限工作
2/4线连接
2根 QST2300-A-05-2.0 三同轴电缆, 2m

📉 LVSMU
QST2301
±200V/100mA (±20V/1A, 脉冲±3A)
10fA分辨率(可扩展0.1fA)
准静态电容测量
最小脉宽10μs
四象限, 2/4线
1根 QST2300-A-03-2.0, 2根 QST2300-A-01-2.0

🔌 HCSMU
QST2311
±60V/330mA (±6.6V/3A, 脉冲±10A)
100fA分辨率
准静态电容测量
四象限, 2/4线
-

📶 AWG
QST2317
2通道, 800MSPS, 1.25ns分辨率
20MHz带宽, 16位
电压范围: 12Vpp@50Ω
-

🧪 CMU
QST2313
Cs, Ls, R, Z, Cp, D, Q ...
10Hz ~ 10MHz
基本精度0.05%
电容100fF~100mF
偏压±30V
BNC接口电容测试夹1套

📡 RPA
QSTRPAMU
扩展QST2301/2311分辨率至0.1fA
最大电压200V
-

📊 CV扩展
QST2314
为CMU提供CV测试能力
Ciss, Coss, Crss, Rg测试电路
偏置高达3000V
低泄漏, USB/IO控制
-

📇 器件管理
QST2309
自动参数录入与调用
一键参数录入
全生命周期追溯
器件管理模块

🧰 IV/CV盒
QST2315
1路高压SMU+4路低压SMU/5路低压SMU
支持1路CMU
内置Ciss/Coss等测试电路
偏置3000V, 低泄漏, 安全锁
可替换夹具
-

💥 脉冲扩展
QST2316
支持5路低压SMU, 1路LCR
内置HCU, ±60V/±2000A脉冲
最小脉宽50μs
-
套件配置

QST2300-PKA

QST2300主机

QST23012个低压SMU

QST2308高性能测试盒

高分辨率 I-V 配置

QST2300-PKB

QST2300主机

QST23012个低压SMU

QST23131个CVU

QST2307IV/CV开关模块

QST2308高性能测试盒

I-V & C-V 高精度

QST2300-PKC

QST2300主机

QST23013个低压SMU

QST2320-30001个高压SMU

QST23131个CMU

QST2307IV/CV开关模块

QST2316大电流扩展测试盒

高压IV + 宽禁带CV

模块化设计 · 即插即用 | 数据版本 V2.3

QST2300 为模块化设计，可根据不同需求灵活配置，兼容高电压、大电流脉冲测试模块。它具备程控能力，能够与测试机、探针台、分选机等各类仪器无缝集成。能够支持3000V以下MOSFET、SBD、二极管、三极管、IGBT等器件的IV、CV、HFE、耐压测试、高阻测试等，可广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试等。

AccurateTest 是一款专用半导体参数测量和分析软件。软件提供完整的直流，脉冲，瞬态，电容和噪声测试功能，内建常见 MOSFET，BJT，二极管，电阻，电容器件类型库，测试类型丰富齐全，它采用多点触摸式中文界面，器件模型、操作参数全图形化表达，支持自定义公式编辑，曲线表格显示任意切换，测试数据自动记录，操作直观简便。

主要功能

★支持3000V以下IV、CV自动化测试

★支持高速双脉冲测试

★支持1/f噪声测试

★支持手动操作和自动化操作，满足不同用户需求

★系统连接简单，便于快速搭建

★内置的常见器件测试项，便于快速测试

★器件全周期管理及追溯

★大尺寸触摸屏，中文操作软件简单易用,操作方便

★提供最高3KV测试夹具

应用场景

器件类型	测量参数
功率器件	脉冲Id-Vg、脉冲Id-Vd、CV、耐电压漏电流、电容参数
CMOS	Id-Vg、Id-Vd、Ig-Vg、CV、准静态CV、阈值电压导通电阻、耐电压、电容参数等
分立元器件	Id-Vg、Id-Vd、Ic-Ve、正向电压、反向耐电压、电容参数
光伏器件	正向电流、反向电流
双极型晶体管	Ic-Vc、饱和压降、电容参数、放大倍数
纳米器件	阻抗、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc
可靠性	电荷泵、热载流子注入、V-Ramp、J-Ramp、TDDB